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P77系列压电式移相器

p77.d4 压电式移相器为大口径移相器，中心通孔孔径分别为160mm，特殊的结构设计，与光学平面检测仪相匹配。
特点
·一维 z 向运动
·分辨率可达0.5nm
·通孔尺寸为ø160mm
·行程范围20μm
·大承载10kg
承载能力
p77.d4 的承载能力高达10kg。
多点位移测量
出厂前，对多个点进行位移测量，保证运动的直线度。
步进曲线
开环曲线
技术参数
以上参数是采用e00/e01系列压电控制器测得
其它类似信息

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