根据激光干涉仪的体积及应用的不同,可选择合适的压电式移相元件,例如对于承载小型的镜片的移相,可选用体积紧凑的压电陶瓷片或压电叠堆陶瓷,单个压电陶瓷的行程范围即可达20微米。
芯明天公司针对大口径型激光干涉仪,专门设计了大口径型压电相移器,并且可用于正立、倒置及卧式不同安装方式,移相范围为20微米,移相分辨率可达0.5纳米,移相时间可小于2毫秒。
芯明天针对不同应用,设计了多种压电移相平台,通孔孔径小至36毫米,大至210毫米。
p77-d1压电移相器
空载谐振频率: 0.15khz
空载阶跃时间: 3.5ms
承载能力: 正立10kg, 卧式5kg, 倒置5kg
外形尺寸(长×宽×高):160×160×35mm
通孔尺寸: ø106mm
重量: 2kg
p77-d2压电移相器
空载谐振频率: 0.3khz
空载阶跃时间: 2ms
承载能力: 正立7kg, 卧式1kg, 倒置5kg
外形尺寸(长×宽×高): 80×80×35mm
通孔尺寸: ø36mm
重量: 610g
p77-d3压电移相器
空载谐振频率: 0.14khz
空载阶跃时间: 2.5ms
承载能力: 正立10kg, 卧式5kg, 倒置5kg
外形尺寸(长×宽×高): 200×200×37mm
通孔尺寸: ø160mm
重量: 2400g
p77-d4压电移相器
空载谐振频率: 0.12khz
空载阶跃时间: 3.5ms
承载能力: 正立10kg, 卧式5kg, 倒置2kg
外形尺寸(长×宽×高): 220×220×39mm
通孔尺寸: ø160mm
重量: 2.9kg
p77-d5压电移相器
空载谐振频率: 0.1khz
空载阶跃时间: 2.5ms
承载能力: 正立10kg, 卧式5kg, 倒置5kg
外形尺寸(长×宽×高): 265×265×35mm
通孔尺寸: ø210mm
重量: 2.9kg
芯明天可提供压电式移相器的快速定制设计,*匹配客户设备的使用要求,定制周期短,具有较高的成本优势,非常适用于先进的工业化检测设备。