纯水又称纯净水，是指以符合生活饮用水卫生标准的水为原水，通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法，制得的不含任何添加物，无色透明，可直接饮用的水。市场上出售的一些桶装水，蒸馏水均属纯净水的范围。
超纯水是在纯水的基础上进一步将水中的导电介质几乎去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率等于或者接近18.2mω.cm（25℃）极限值。
纯水和超纯水区别存在于很多方面，这里只列举了其中的一些方面，现归纳如下：
a.电导率不同，纯水电导率一般在2-10us/cm之间，超纯水的电导率为0.056us/cm；有机物、细菌、微粒数等指标也大不相同，比如有机物纯水是几十ppb以上，而超纯水为几个ppb，简单地说超纯水中已经没有什么杂质，接近于理论上的水b. 制造的难易程度不同，目前市场上使用的纯水基本上都是经过反渗透和蒸馏两种方法制得，而超纯水是在纯水的基础上还要经过抛光核子级树脂处理，微滤或超滤等一系列复杂的纯化技术制得的。
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