mems0600系列气体质量流量计
mems0600系列gas 质量流量计(质量流量计)用于精确的气体流量测量，是实现本地和远程监控的智能仪表。由于测量基本不受压力和温度的影响，具有精度高、重复性好、量程比宽、抗干扰等特点。mems0600系列智能流量计按照国家标准的要求制造，具有良好的兼容性和互换性。
mems0600系列智能质量流量计具有数据处理、记录、显示等相关功能。，并能实现nb-iot的远程传输功能。安装方便，维护简单。
mems0600系列智能质量流量计主要应用于医院集中供气系统及氧气流量的夹层监控、药房、实验室微反应装置、气体混合及气体分配系统、毛细管测量气象色谱仪、半导体生产过程、光纤制造过程；以及石油化工、冶金、焊接等过程控制。
构图原理
mems0600系列智能质量流量计由三个主要部件组成:传感器、机身和信号处理单元。
微机电芯片(mems)是由cmos半导体技术制成的。根据热扩散原理的设计，在芯片中心设置加热器，在加热器的上游和下游分别设置热电堆，热电堆配有底座温度计。加热器和热电堆阵列的底部设有空腔，可以高效地检测加热器的热量和附近温度场的变化。加热元件通入恒定电流后，在附近区域形成相应的温度场。
介质的流动会使温度场重新分布，因为温度场分布的变化与流体质量流量有一定的函数关系，所以通过精确测量温度场可以反算出流体质量流量。mems0600系列智能质量流量计传感器通过热扩散原理直接测量质量流量，因此基本不需要压力和温度补偿，通过使用芯片将热扩散原理的应用范围缩小到微米级。因此，用这种传感器制造的质量流量计具有精度高、量程宽、灵敏度高、测量准确的特点。