低温捕集泵与真空泵抽除气体不同，他是将一个能达到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空箱体内或油扩散泵泵口，利用meissner原理，使水蒸汽，油蒸汽快速凝结在制冷盘管表面，以达到快速抽真空，提高生产效率，提高镀膜质量的目的。因此，低温捕集泵与真空泵配合使用，较之单独使用真空泵会大幅提高生产效率，提高产品质量。
在高真空环境中，都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气，氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速，有效地将其抽出，故而越积越多，成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体；同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象，故而会有少量油蒸汽进入真空系统。
低温捕集泵影响集气器换热的因素：
（1）不凝性气体
由于不凝性气体造成集气器内蒸气向壁面扩散阻力增大，削弱了换热，因而降低蒸气的凝结速率，使得分离效果恶化。不凝性气体对换热的影响还与混合气体的运动速度有关，当混合气体流速较低时，使得远离液膜的蒸气分子很难通过，从而阻碍了蒸气的正常凝结。
（2）自然对流
自然对流的驱动力来自于纯蒸气和混合气体密度的差别。自然对流导致了气体的循环流动，以及轴向分层现象。界面区附近的热质传递受诸多因素的影响，如工质的物性、系统的内外部温度、气体的数量、集气器的位置及结构尺寸等。混合气体在集气器内的流动是二次相变流动，这是一种集凝结、凝固、凝华的相变过程和热虹吸作用于一身的复杂的物理过程。如何将这一问题简化为几个单一的物理过程的组合，以及寻求更为合理而简单的数学模型，将是我们今后的努力方向。
关键词：真空泵