x射线荧光光谱仪(xrf，是一种快速的、非破坏式的物质测量方法。x射线荧光是用高能量x射线或伽玛射线轰击材料时激发出的次级x射线。这种现象被广泛用于元素分析和化学分析，特别是在金属，玻璃，陶瓷和建材的调查和研究，地球化学，法医学，考古学和艺术品，例如油画和壁画。
xrf用的是物理原理来检测物质的元素，可进行定性和定量分析。即通过x射线穿透原子内部电子，由外层电子补给产生特征x射线，根据元素特征x射线的强度，即可获得各元素的含量信息。这就是x射线荧光分析的基本原理。它只能测元素而不能测化合物。但由于xrf是表面化学分析，故测得的样品必须满足很多条件才准，比如表面光滑，成分均匀。如果成分不均匀，只能说明在xrf测量的那个微区的成分如此，其他的不能表示。
xrf的优点如下：
1、分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2-5分钟就可以测完样品中的全部元素。
2、非破坏性。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
3、分析精密度高。
4、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
5、测试元素范围大，wdx可在ppm-100%浓度下检测b5-u92，而edx可在1ppm-100ppm下检测大多数元素，na11-u92。此外还可以检测cu合金中的be含量。
6、可定量分析材料元素组成，分辨率高，探针尺寸为500μm (wdx), 75μm (edx)。