下照式微聚焦多准型，搭载先进的efp算法软件和微光聚集技术，配合切换准直器在检测各微小及凹凸面样品时检出限更低，仪器寿命更长，性能更稳定。
xtu-4c是一款专业性能型镀层测厚仪/膜厚测试仪/光谱测厚仪，下照式微聚焦多准型设计，搭载先进的efp算法软件和微光聚集技术，配合切换准直器在检测各微小及凹凸面样品时检出限更低，仪器寿命更长，性能更稳定。
微聚焦加强型x射线装置：可测试各类极微小的样品，即使检测面积为0.003mm²的样品也可轻松、精准检测
变焦装置及位置补偿算法：可对各种异性凹槽进行检测，凹槽深度测量范围可达0-30mm
自主研发efp算法：多层多元素、各种元素及有机物，甚至有同种元素在不同层也可精准测量
微米级移动精度：高精密xy移动滑轨，实现多点位、多样品的精准位移和同时检测，移动精度可达5um，轻松应对极微小样品检测
先进的解谱技术：减少能量相近元素的干扰，降低检出限