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日本ULVAC CFB-600N耐腐蚀分子泵技术资料

一、产品简介
cfb-n系列耐腐蚀分子泵其叶轮采用国内*的变截面叶齿,轴承采用陶磁精密轴承,以更高的可靠性实现了清洁无油的高真空环境,产品做了耐腐蚀的设计,具有*的耐腐蚀性能,广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、*、激光、家电、新材料、汽车等真空技术的各个领域。
二、产品特点
由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得高真空和超高真空。轴承采用脂润滑陶瓷精密轴承,可以实现泵的任意角度安装。
三、主要性能指标
型号
cfb-600n
进气口法兰

lf160
cf150
排气口法兰

kf40
抽气速率
l/s
600
压缩比n2/h2

1×109/8×103
极限压强
pa
5×10-7
8×10-8
电机转速
rpm
24000
启动时间
min
<4.5
使用场合

耐腐蚀
振动值
μm
≤0.1
前极泵
l/s
4-8
冷却水温度

≤20
泵体烘烤温度

<120
冷却水流量
l/min
1
加热器功率
w
<550
加热器输入电压
v
ac220
安装方向

垂直±5°
重量
kg
~29
四、特性曲线及安装尺寸
cfb系列抗冲击分子泵对大气的抽速曲线
cfb系列抗冲击分子泵对氮气及氢气压缩比曲线
cfb-n系列耐腐蚀复合分子泵安装尺寸表
型号规格
cfb-600n
高真空法兰
lf160
cf150
d1
ф180
ф202
d2
ф236
ф236
d3
□145.7
□145.7
l1
128
128
l2
137
137
h1
395.5
395.5
h2
108
108
h3
135.5
135.5
h4
104
104
泵腿螺钉孔
4-m8
4-m8
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