等离子体处理设备能增强电离作用吗,有什么好的方法:
等离子体处理设备中的电离现象与电子运动密切相关,增强电离对处理等离子的作用也有很大的影响,那么,怎样才能增强等离子体处理设备电离作用呢?现有的证明方法有两种,一种是通过电子与场位在弹性碰撞中的时间的合理配合而得到的,另一种是通过“冲浪”效应得到的。
对于电子加速的机理,理想的条件是当电子与氩原子发生弹性碰撞并在电场转向时,电子的速度和能量都会增加;如果能满足上述条件,电子就可以得到电离能,即使电场强度很弱,它也可以得到电离能,在这个机制中,电场频率的理想范围通常在几千mhz左右。
还有学者对此机制进行了扩展,认为由器壁和阴极发射的次级电子被加速后,进入光放电区域,成为电子的附加源,属于次级电子倍增现象。在二次电子释放时,若电场换向,达到相一致,则可有效增强电离。
冲波效应是电离强化的另一个证据机制,通常认为,在高频交变电场的作用下,等离子体处理设备电极鞘层界面电子的“冲波”现象可以有效地增强电离,一般表现为等离子体处理设备鞘电压和鞘层持续波动变化。已有的计算和论证表明,电子通过鞘层振荡来获得能量,而“冲浪”电子将对电离过程产生积极影响。
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