原子荧光光度计的关键部件有：气路系统、进样器、氢化物发生系统(蒸汽发生系统)、原子化器、激发光源、检测器等。
1、气路系统:
(1) 电磁阀控制流量计:组合，准确，粗调，受表头压力影响大
(2)质量流量计:准确，可细调，受表头压力影响小
2、进样器:
(1)三维自动进样器:方盘自动进样器、xyz 自动进样器，进样针随进样臂上下、左右、前后运行进行定位。
(2)极坐标自动进样器:圆盘自动进样器，进样针随进样臂旋转，上下运行，样品盘配合旋转。
3、氢化物发生系统(蒸汽发生系统) :
(1)蠕动泵:价格便宜;因泵辊轮挤压泵管时有脉动，微量进样时精度和准确度差;不适合单标准自动配标准曲线和自动稀释高浓度样品:短时间准确、稳定，长时间泵管容易变形老化，需要更换。
(2)顺序注射泵:价格贵;进样精度和准确度高;长时间稳定;可单标准自动配标准曲线和自动稀释高浓度样品。
4、原子化器:低温氩氢火焰原子化器:双层屏蔽式石英炉芯，减少荧光猝灭和气相干扰，提高原子化效率。
5、激发光源:特制高强度空芯阴极灯(as. sb、bi、hg等)，锐线光源。短脉冲大电流供电技术的应用，使用寿命和稳定性均得到较大提高。
6、检测器: 日盲光电倍增管，检测波长范围160nm~320nm，极大地减弱了可见光的干扰。