全新上照式设计，搭载全自动移动平台和影像识别功能，既能检测纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚，也可满足微区rohs检测及全元素成分分析。
1）搭载微聚焦加强型x射线发生器和先进的光路转换聚焦系统，最小测量面积达0.03mm²
2）拥有无损变焦检测技术，手动变焦功能，可对各种异形凹槽件进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm
3）核心efp算法，可对多层多元素，包括同种元素在不同层都可快、准、稳的做出数据分析（钕铁硼磁铁上ni/cu/ni/fendb，精准检测第一层ni和第三层ni的厚度）
4）配备全自动可编程移动平台，可实现无人值守，对成百上千个样品进行全自动检测
5）涂镀层分析范围：锂li（3）- 铀u（92）
6）成分分析范围：铝al（13）- 铀u（92）
7）rohs、卤素有害元素检测
8）人性化封闭软件，自动判断故障提示校正及操作步骤，避免误操作
9）标配四准直器自动切换
10）配有微光聚集技术，最近测距光斑扩散度小于10%