一、特点1、 使用几何尺寸%，的红宝石轴套，确保探针间距的恒定、准确。2、 控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6μｍ，，探针的小游移率。3、 采用特制的s型悬臂式弹簧，使每根探针都具有%立、准确的压力。4、 量具精度的硬质合金探针，在宝石导孔内稳定运动，持久耐磨。二、用途1、 测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率，测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。2、 测量导电玻璃（ito）和其它导电薄膜的方块电阻。三、探针间距1、 直线四探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm2、 方形四探针…………… 1.00mm3、 直线三探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm4、 两探针 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm四、，指标1、 游移率 b，…………… ＜0.5% a，……………＜0.3% aa，………… ＜0.2% aaa，…………＜0.1%2、 间距偏差 b，…………… ＜3% a，…………… ＜2% aa，………… ＜2% aaa，………… ＜1%3、 ，针与导孔间隙：0.006mm4、 探针材料：硬质合金（主成份：进口碳化钨）或高速钢5、 探针压力 标准压力：6—10n（4根针总压力） 小压力：1.2—5n（4根针总压力） 1牛顿（n）=101.97克6、 针尖压痕直径：25—100μｍ、100—250μｍ（簿层）7、 500v，缘电阻：＞1000mω