等离子体清洗机在处理晶圆表面光刻胶时，等离子表面清洗能够去除表面光刻胶和其余有机物，也可以通过等离子活化和粗化作用，对晶圆表面进行处理，能有效提高其表面浸润性。相比于传统的湿式化学方法，等离子体清洗机干式处理的可控性更强，一致性更好，并且对基体没有损害。
等离子清洗机（plasma cleaner）又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗机应用于半导体行业：硅片、晶圆制造：光刻胶的去除；.微机电系统（mems）：su-8 胶的去除；芯片封装：引线焊盘的清洁、倒装芯片底部填充、改善封胶的粘合效果；失效分析：拆装；电连接器、航空插座等。
晶圆加工及光刻胶去除等离子清洗机通过对物体表面进行等离子轰击，可以达到对物体表面的蚀刻，活化，清洗等目的。可以显著加强这些表面的粘性及焊接强度，等离子表面清洗机处理系统现正应用于lcd，led，ic，pcb，smt，bga，引线框架，平板显示器的清洗和蚀刻。等离子清洗过的ic可显著提高焊线强度，减少电路故障的可能性。残余的感光阻剂、树脂，溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区，短时间内就能清除。pcb制造商用等离子清洗机蚀刻系统进行去污和蚀刻来带走钻孔中的绝缘物。
关键词：等离子清洗机 芯片 显示器