去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织iso/tc 147规定的“去离子”定义为：“去离子水*或不*地去除离子物质。”如今的工艺主要采用ro反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。
去离子水设备处理从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ：
1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。
2、然后高压通过反渗透膜。
3、般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。
4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程电阻率可达到18兆。
相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。
标准：
1、无色的澄明液体、无臭、无味。
2、电阻率大于0.5 mω·cm（兆欧·厘米） 电阻率可达到18兆。
3、去离子水的纯度比蒸馏水的高。
关键词：离子交换树脂 反渗透膜