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诚峰等离子体蚀刻机是工业生产半导体行业的设备

诚峰等离子体蚀刻机是工业生产半导体行业的设备:
诚峰等离子体蚀刻机采用高密度2.45ghz微波等离子技术,对半导体制造中的晶片进行清洗、去胶和等离子体前处理,微波等离子体清洗、去胶具有很高
的活性,而且对器件无离子损伤。等离子体蚀刻机是微波等离子处理技术的新产品,圆片灰化设备成本低,尺寸适中,性能*,特别适合工业生产和科
研机构使用。
等离子体蚀刻机气体接触到电子区域就会形成等离子体,所产生的离子化气体和释放出的高能电子构成气体等离子体。被离子化的气体原子的动能比
较小,除非它们通过电场加速。当加速时,它们释放出足够的力,与表面驱动力紧密结合在一起,粘附材料或蚀刻表面。等离子体效应转化为材料蚀刻加工过
程,分子级上使用活性气体也会产生化学反应。
等离子体蚀刻机在半导体上使用的优点:
1、脱胶迅速。
2、样本未受到任何损伤。
3、运行简单、安全。
4、设计简洁、美观。
5、产品性价比高。
等离子体蚀刻机是半导体行业的设备,从事微纳加工工艺研究,主要用于半导体及其他薄膜加工工艺过程中,各种光刻胶的干燥去除、基片
清洗、电子元件的开封等。研究方向:等离子体表面改性,有机物质表面等离子清洁,等离子体蚀刻,等离子体灰化,增强或减弱浸润性等。
等离子体蚀刻机外观简洁,系统高度集成化,采用模块化设计,适用于半导体,生物技术,材料等领域。性能优越,可提供的工业控制、故障报
警系统和数据采集软件。能满足科研、生产等严格控制要求。
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