p63系列压电纳米运动平台为芯明天标准产品之一，它的标称行程范围为5.5μm/轴，一至三维运动自由度可选。
p63.xyz-d1是基于p63系列进行内部结构及外观尺寸的微调整，将xy向的标称位移增大到了16μm，以满足使用者对xy向更大运动范围的要求，既在成本上得到了很好的控制，又满足了用户使用的需求。
微调后的p63.xyz-d1依然保持小体积的特点，尺寸仅l40×w40×h42mm，易于集成。xy轴标称行程为16μm，z轴标称行程为6μm。
p63.xyz-d1闭环阶跃时间图（带载）
p63.xyz-d1压电运动平台，在带载100g负载的情况下，满行程阶跃时间约9ms。
p63.xyz-d1技术参数
型号：p63.xyzs-d1
运动自由度：xyz
标称行程范围（0~120v）：xy 16μm，z 6μm
行程范围（0~150v）：xy 18μm，z 8μm
传感器类型：sgs
闭环分辨率：0.6nm
开环分辨率：xy0.2/z0.1nm
闭环线性度：xy0.3%f.s. , z1%f.s.
闭环重复度：0.5%f.s.
俯仰/偏航/滚动：≤15μrad
空载谐振频率：xy2/z1khz
闭/开环空载阶跃时间：8/0.5ms
承载能力：0.5kg
静电容量：x、y 1.8μf/ z 0.8μf
z轴闭环电压与位移曲线
注：实际施加到压电平台的电压为输入控制电压的12倍。
xy轴开环电压与位移曲线
注：实际施加到压电平台的电压为输入控制电压的12倍。
位移测量
利用电容测微仪测量各轴运动行程。