等离子发生器等离子体概述：
等离子体是物质存在的第四种状态。通常情况下物质有三种状态:气态、液 态、固态。在一定温度和压力下三态可以互相转化。但在一定条件下， 如加热、 放电等，气体分子会发生解离、电离等过程，当产生的带电粒子密度达到一定数 值时，物质状态就会出现新的变化，这时的电离气体已经不再是原来的气体了， 人们把这时的状态称为等离子体态。
1.1.1 等离子发生器等离子体定义
什么是等离子发生器的等离子体?早期的定义为包含足够多的正负电荷数目近于相等的带电 粒子的物质聚集状态。当然，在这个定义下也包含了固态等离子体和液态等离子体。晶格中正离子与自由电子组合或半导体中电子与空穴的组合等为固态等离子体。电解质溶液中正负离子的组合为液态等离子体。1994年在“等离子体物理学发展战略调研报告”中提出等离子体是由大量带电粒子组成的非凝聚系统。报告强调了等离子体的非凝聚系统属性，排除了单纯的固态 和液态。因此，等离子体是指在宏观上呈电中性的电离态气体，是电子、离子、 自由基和各种活性基团等粒子组成的集合体。其中正电荷总数和负电荷总数在数值上相等，故称为等离子体。此等离子体定义既强调了等离子体微观上的电离属性，又强调了等离子体宏观上的电中性。
作为具有一定电离度的气体等离子体和普通气体的主要区别在于组成和性质。组成上普通气体是由电中性的分子或原子组成，而等离子体是由带电粒子和中性粒子组成的集合体。性质上等离子体是一种导电流体，但在宏观尺度上维 持电中性，其带电粒子间存在库仑力，运动行为会受到磁场影响或支配。
1.1.2等离子发生器等离子体发生
日常生活环境中因不具备等离子体产生的条件而使人们对等离子感到陌生。事实上，在一些特定的环境下是能看到自然界的等离子体现象的，如闪电、 极光等。在宇宙中，99%以上的物质均是以等离子体状态存在的，如太阳等恒星。 在实验条件下产生等离子体的方法很多，最重要和的方法就是气体放电法。 近年来，随着等离子体技术的成熟，大气压下气体放电逐步发展起来，相比于低气压气体放电，大气压气体放电无需复杂的真空系统，使费用大大降低。目前， 实验室中常用的大气压气体放电有辉光放电（glow discharge)、介质阻挡放电(dielectric barrier discharge）、电晕放电(corona discharge）、滑动弧放电(gliding arc discharge）、火花放电（spark discharge）、射频等离子体（radio-frequency plasma) 及微波等离子体（microwave plasma）。
1.1.3等离子体分类
等离子发生器等离子体按照不同的标准可分成不同种类。按存在方式分类可分为天然等离子体与人工等离子体。宇宙中99%以上的物质是以等离子体状态存在的，称为天然等离子体。如恒星星系、星云，地球附近 的闪电、极光、电离层等。人工等离子体如日光灯、霓虹灯中的放电等离子体， 等离子体炬中的电弧放电等离子体，气体激光器及各种气体放电中的电离气体。
按电离度分类可分为电离等离子体(α=1)和强电离等离子体(1>α>0.01）以及弱电离等离子体（αti≈=tg，从而形成了热力学上的非平衡性。具体分类如下：
分类 高温等离子体 低温等离子体
热等离子体 冷等离子体
温度范围 10^6~10^8k 10^3~10^5k 10^2~10^5k
热力学性质 热力学平衡 局部热力学平衡 非热力学平衡
应用范围 太阳上等离子体 电弧等离子体 辉光放电
受控热核聚变 高频等离子体 电晕放电