空气过滤器标准和效率
空气过滤器标准和效率
随着微电子工业的发展, 对过滤器要求越来越严, 德标准din24183提出
zui容易穿透粒径(most penetrating particle size, 简称mpps)法, 并采用zui容易穿
透粒径来检测空气过滤器的效率. 其实不同的滤料和不同的滤速zui容易穿透粒径是
不同的, 一般在0.11um-0.25um范围内. 然后以此粒径测试其效率或用于扫描实验.
mpps是目前zui严格的试验标准,
体测试一般采用dop方法. dop(邻苯二甲二辛酯)法: 实验尘源为0.3um单分散相dop液滴, 测量粉尘仪器为光度
计, 以气样的浊度差别来判定过滤器对dop颗粒的过滤效率. 目前逐步采用大流量激光
粒子计数器或凝结核计数器对过滤器整个出风面进行扫描检验.
中标准 欧洲标准
en779-1993 美dop法
0.3um效率/% ashra标准
计重法效率/% ashrae标准
比色法效率/%
粗效过滤器 g1 　 < 65 　
粗效过滤器 g2 　 65-80 　
粗效过滤器 g3 　 80-90 　
中效过滤器 g4 　 >=90 　
中效过滤器 f5 　 　 40-60
中效过滤器 f6 20-25 　 60-80
中效过滤器 f7 55-60 　 80-90
中效过滤器 f8 65-70 　 90-95
中效过滤器 f9 75-80 　 >=95
亚过滤器 h10 > 85 　 　
亚过滤器 h11 > 98 　 　
过滤器a h12 > 99.9 　 　
过滤器a h13 > 99.97 　 　
过滤器b h14 > 99.997 　 　
过滤器c u15 > 99.9997 　 　
过滤器d u16 > 99.99997 　 　
过滤器d u17 > 99.999997
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敏感元器件静电压标准
hbm模式(人体模式) esd stm5.1-1998 级别 静电压范围
class 0 < 250v
class 1a 250-<500v
class 1b 500-<1,000v
class 1c 1,000-<2,000v
class 2 2,000-<4,000v
class 3a 4000-<8,000v
class 3b >=8,000v
mm模式(机器模式) esd stm5.2-1999 级别 静电压范围
class m1 < 100v
class m2 100-<200v
class m3 200-<400v
class m4 >=400v
cdm模式( 放电模式) esd stm5.3.1-1999 级别
静电压范围
class c1 < 125v
class c2 125-<250v
class c3 250-<500v
class c4 500-<1,000v
class c5 1,000-<1,500v
class c6 1,500-<2,000v
class c7 >=2,000v