cmos逻辑集成器件从20世纪60年代末发展至今，由于制造工艺的不断发展，它的技术参数从整体上来说已经接近ttl器件的水平，其中某些参数优于ttl器件。例如，cmos器件的功耗低、扇出数大，噪声容限大，这些均是由于cmos器件固有特性所决定的。但也应注意到，这里讲的功耗低是指静态功耗（微瓦量级）而言。实际上，因为它的输入电容约为10pf，当工作频率较高时，其动态功耗随频率的增加而增加，其值可达lsttl量级。
最早的cmos器件为4000系列（1967年）。随后出现的74c系列，引脚编号与ttl兼容，但因输入和输出电压值仍不兼容，因而这种系列未能得到推广。由于cmos工艺的重大突破，一种新型的高速cmos器件系列诞生，这就是74hc系列。这类器件不仅功耗低，而且在相同电源电压vcc的条件下，其噪声容限约为ttl电路的两倍。它的平均传输延迟时间每门可小到6～10ns。这种速度与基本的ttl或lsttl门电路相当。此外，尚有与ttl兼容的新系列，即74hct系列和74bct(bicmos)系列等。表1列出了上述cmos器件的主要参数，以便于与ttl器件系列相比较。
表1 cmos门电路各种系列的性能比较