能量色散x荧光光谱仪，简称xrf，是一种物理的元素分析方法，具有快速、无损、多种元素同时分析、分析成本低等特殊技术优势，在电子、电器、珠宝、玩具、服装、皮革、食品、建材、冶金、地矿、塑料、石油、化工、医药等行业广泛应用。
自二十世纪七十年代末我国就引进了能量色散x射线荧光光谱仪投入使用，到90年代我国已可以自主生产能量色散x射线荧光光谱仪。经历了近30年的发展，到二十一世纪初我国能量色散x射线荧光光谱仪生产技术已日臻完备。
时至目前，我国已有多家研制、生产、组装能量色散x射线荧光光谱仪的厂商，其产品主要性能指标基本接近*水平。解决了产品的质量和生产问题，我们就要来谈一谈能量色散x荧光光谱仪使用中的注意事项。
能量色散x射线荧光光谱仪通常采用低功率x射线光管，功率通常为4~9w， 靶材有rh、mo、cr、au靶等，x射线光管和放射性核素源相比，除强度高以外，还可以根据待测元素选择适当的激发条件。为利用二次靶激发或偏振光激发，也可以使用较大功率(50~600w)，zui高电压可达60~100kv，可以激发周期表中所有元素k系线。二次靶采用x射线光管发射出的原级x射线照射到另一纯元素制成的靶材上，用它产生的特征x射线去激发样品中的待测元素，利用选择激发，可以降低背景，提高峰背比。
而作为edxrf中的主要部件，半导体探测器需要在一定条件下保存、使用和维护。
1、正确连接设备的各个部分，尤其对偏压的极性应十分注意。
2、 偏压(100~1000v)是经过探测器直接接到前置放大器*级场效应管的栅极上。 由于半导体反接，偏压几乎全部降在探测器上，而栅极上电压降很小，当偏压突然上升或下降时，在高压电脉冲的冲击下，场效应管易损坏。因此半导体探测器的偏压必须用连续可调的高压电源，缓慢增减。每次开始工作时，由零缓慢、均匀地调至工作电压，每一步不少于1min。
3、探测器低能辐射的半导体探测器的真空室都有一个厚度为 μm量级的铍片制成的入射窗，作为射级的通道，它极易破碎，因此不宜直接对铍窗吹气，也不能用刷清洗。
4、对用液氮冷却的半导体探测器，必须及时补充液氮。因为当温度升高时，原来在漂移过程中形成的中性离子就会离解，这称为“反漂移”，会导致半导体探测器性能下降，甚至损坏。
防潮。潮湿会导致绝缘子及高压回路漏电。铍窗及真空室积水会损坏铍窗，造成漏气。除经常擦拭之外，的方法是用一个大的塑料袋把探测器和低温容器的出口一起罩上。由出口不断蒸发出来的低温干燥氮气逐渐赶去罩内的空气和水分，并保持很小的压力，保持罩内小范围干燥。
以上就是能量色散x射线荧光光谱仪的功能简单介绍和使用中半导体探测器的注意事项，至于其他的零部件，笔者将在能量色散x荧光光谱仪的使用注意事项(下)中，为您详解。