主要用于半导体晶圆（各种材料）硅si.gaas砷化镓等，玻璃、金属、化合物等的高精度非接触式测厚（非接触式测厚）。
1. 1.空气背压法可以进行非接触式厚度测量（非接触式厚度测量），不会造成划痕和污染等损坏。高精度非接触式厚度测量（非接触式厚度测量）不依赖于薄膜和颜色光泽等材料，可轻松实现。潮湿时可以进行高精度的非接触式厚度测量（非接触式厚度测量）。即使是镜面透明或半透明，也可以毫无问题地进行高精度非接触式厚度测量（非接触式厚度测量）。由于使用上下测量喷嘴进行测量，因此 可以准确测量“厚度”，而不会受到被测物体“滑行”引起的翘起的影响。 （“雪橇”测量也可以作为选项（* 1））6。由于操作简单，因此可以非常轻松地进行测量和校准 (* 2)。
准确控制上下测量喷嘴的背压，喷嘴定位使喷嘴与被测物体之间的间隙恒定，并将预先用参考量规校准的值与测量值进行比较可以测量，厚度可以准确确定。
测量原理图
分辨率 0.1 μm 重复精度 10 次 重复连续测量时的标准偏差 (1σ) 0.3 μm 或更小 测量范围 max.10mm (*3) 供电电源 ac100v 50 / 60hz 3a 清洁空气 0.4mpa 20nl / min. (*4)
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