自动光学检测(automated optical inspection, aoi)技术,也称为机器视觉检测(machine vision inspection, mvi)技术或自动视觉检测(automated visual inspection, avi)技术。在有些行业,如平板显示、半导体、太阳能等制造行业,南城全自动光学检测,aoi这一术语更加流行,被人知晓。但是aoi和mvi/avi在概念和功能上还是有细微差别的。
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光源的选择(颜色、波长、功率、照明方式等)除了分辨与增强特征外,还需考虑图像传感器对光源光谱的灵敏度范围。镜头的选择需要考虑视场角、景深、分辨率等光学参数,镜头的光学分辨率要和图像传感器的空间分辨率匹配才能达到的性价比。一般情况下,镜头的光学分辨率略高于图像传感器的空间分辨率为宜,尽可能采用黑白相机成像,全自动光学检测设备,提高成像分辨能力。
自动光学检测用于检查导体电路图形(蚀刻后)的质量:
将*蚀膜层退除后,检查导体铜电路图形*广泛的是使用aoi.在这方面的应用是非常普遍的,要获得图像的清晰度的提高,完全决定于过滤器的适当选择,全自动光学检测系统,使铜导体表面呈现出不同的变换。*多的情况,aoi系统检查蚀刻后的导线宽度,这就很容易涉及到多层板内层的导体表面形态和导线边壁的形态的类似的显现,这种形态决定于蚀刻的工艺或微蚀刻的工艺特性。特别是经过电镀的导体线路的经过蚀刻后形态。
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