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日本ULVAC CFB-2000Z脂润滑分子泵技术资料

一、产品简介
cfb-z系列脂润滑分子泵其叶轮采用国内*的变截面叶齿,轴承采用脂润滑陶磁精密轴承,以更高的可靠性实现了泵的任意角度安装和清洁无油的高真空环境,广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、、激光、家电、新材料、汽车等真空技术的各个领域。
二、产品特点
由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得高真空和超高真空。轴承采用脂润滑陶瓷精密轴承,可以实现泵的任意角度安装。
三、主要性能指标
型号
cfb-2000z
进气口法兰

lf250
cf250
排气口法兰

kf50
抽气速率
l/s
2000
压缩比n2/h2

1×109/1×104
极限压强
pa
5×10-7
8×10-8
电机转速
rpm
24000
振动值
μm
≤0.1
启动时间
min
<6
使用轴承

脂润滑陶瓷轴承
前极泵
l/s
15
冷却方式

水冷(风冷)
冷却水温度

≤25
环境温度

<40
冷却水流量
l/min
1
安装方向

任意角度
重量
kg
~30
三、特性曲线及安装尺寸
cfb系列抗冲击分子泵对大气的抽速曲线
cfb系列抗冲击分子泵对氮气及氢气压缩比曲线
cfb-2000z安装尺寸
型号规格
cfb-2000z
高真空法兰
lf250
cf250
d1
ф290
ф305
d2
ф295
ф295
d3
274
274
l1
114
114
h1
317
317
h2
262
262
h3
97.5
97.5
h4
282
282
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