在半导体材料和器件的研究和生产中经常要使用各种具剧毒高毒及易燃,易爆特性的气体,其中最典型的即为砷烷和磷烷……这两种气体常用作ⅲ一 v族半导体外延材料的生长源,在气相外延(vpe),金属有机物气相外延(movpe)i气态源分子束外延(gsmbe)及化学隶外延(cbe)等中提到广泛应用,在其它一些平导体工艺如离子注人，扩散.多品及非品硅沉积等中也常用作掺杂剂。
由于这两种气体均为剧毒,燃气体,磷烷遇空气还能自燃,因此在实际工作中无论是从影响人体健康的环保因素考虑，还是从保证安定的角度考虑，都必须对工作空间中这些气体的环境浓度进行有效的实时监测，并具备可靠的泄漏安全报警装置砷烷和磷烷的环境允许浓度甚低,分别仅为 5oppb~3o0ppb,在几个ppm的浓度下即会产生急性中毒症状,
巡检机器人基于ocr和图像识别能力，能模拟专业的人工操作，在全站多级页面与资金交易全流程的各个场景进行点击、识别、检查等巡检操作，搭配深国安在线磷烷砷烷二合一气体检测仪，能有效的提高巡检的速度跟人员的安全保障，
在线磷烷砷烷二合一气体检测仪特点：
1，用深国安典型的家族式盾形外观设计，配备工业级铝合金防护外壳，坚固耐用；
2，2.4英寸超大屏幕，显示目标气体、浓度、单位、指示灯工作状态等各项参数；
3，中英文、繁体，操作界面，适合所有人群；强大声光报警功能，三级报警点自由设置，当气体浓度超标时，自动 发出85db以上的报警声响。
4，同时支持一键消音；
5，强大的数据存储功能，客户可通过有线或无线连接，将数据打印或导出；国外进口芯片，精度高、稳定性强、误差率低；
6，多种信号传输，兼容90%以上厂家的气体报警控制器、plc、dcs、ddc等上位机系统；全量程温湿度补偿，32位纳米级微处理器+24位超高adc采集芯片，确保产品在运行过程的数据稳定；
在线磷烷砷烷二合一气体检测仪深国安采用32位处理芯片，可以精准识到可媲美分析仪级别的ppb浓度，深国安选用国外进口气体传感器，地保障了产品安全性和稳定性，全量程温湿度补偿和深国安数据修正功能，确保不同环境下使用。
关键词：芯片 控制器 传感器