依次关高阀、前级、机械泵，2.待分子泵显示到50时。这期间约需40分钟。3.50以下时，再关维持泵。
真空计档位置v1位置，一、电控柜的操作 1.开水泵、气源 2.开总电源 3.开维持泵、真空计电源。等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
开涡轮分子泵电源、启动，4.开机械泵、予抽。真空计开关换到v2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
关予抽，5.观察涡轮分子泵读数到达250以后。开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定水平后才干开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达210-3以后才干开电子枪电源。
延时、电源及保护灯亮，二、def-6b电子枪电源柜的操作 1.总电源 2.同时开电子枪控制ⅰ和电子枪控制ⅱ电源：按电子枪控制ⅰ电源、延时开关。三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，
维护灯会常亮。
高压会达到10kv以上，3.开高压。调节束流可到200ma 左右，帘栅为20v/100ma 灯丝电流1.2a 偏转电流在1~1.7之间摆动。三、关机顺序 1.关高真空表头、关分子泵。
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