对于没有漏气或放气的真空系统,如果真空腔室的容积为v,并且真空腔室的有效抽速为s0,则真空腔室中的压力将在以下过程中随时间变化: 抽水过程。
上述定律表明,在经过每个时间后,真空室中的压力下降了一个数量级。 显然,t越小,压力下降越快。 当v恒定时,有效抽速s0越大,可以越小。
但是,没有真空系统是无泄漏且没有放气的。
即使没有泄漏,通气也始终存在。 实际上反映了在除去真空室中气体的过程中泵的压力。 修改法律。 压力高时,与空间中的气体量相比,系统的泄漏和除气量相对较小,其影响可忽略不计。 可以认为无泄漏和无排气的条件是近似的。 成立。 当压力低时,系统的泄漏和放气不容忽视,甚至成为主要的气体负荷,法则将发生偏离,这表现为压降变慢。 通常,发生此转变的压力约为0.5pa,因此真空系统的典型泵送过程首先会迅速降低压力,然后开始减速至一定压力。 因为合格的真空系统对泄漏率有严格的要求,所以除气是影响系统减压的主要因素,除气是一个缓慢的过程。 即使使用诸如烘烤之类的加强措施,也必须达到预定的压力。
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