真空泵工作原理
水环式真空泵/液环真空泵工作原理
水环真空泵（简称水环泵）一种粗真空泵。称为水环式压缩机，所能获得的极限真空为2000~4000pa串联大气喷射器可达270~670pa水环泵也可用作压缩机。属于低压的压缩机，其压力范围为1~2105pa表压力。
水环泵zui初用作自吸水泵。如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。工业生产的许多工艺过程中。水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。
泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时。由于离心力的作用，水被叶轮抛向四周。水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内外表恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内外表刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。
水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的因此它属于变容式真空泵。综上所述。
罗茨泵的工作原理
罗茨泵在泵腔内。由传动比为1一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。转子之间，有二个“8字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上。转子与泵壳内壁之间，坚持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵自身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不时旋转。再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内。所以，泵腔内气体没有压缩和膨胀。
但当转子顶部转过排气口边缘。由于排气侧气体压强较高，v0空间与排气侧相通时。则有一局部气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。
旋片式真空泵工作原理
也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。旋片式真空泵（简称旋片泵）一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.3310-2pa属于低真空泵。可以单独使用。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体。还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的对金属有腐蚀性的对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。若附有气镇装置。
就是结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的以获得较高的真空度。旋片泵是真空技术中zui基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级。
其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%50%和20%旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：入口压强为1333pa1.33pa和1.3310-1pa下。>
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。旋片泵的腔内偏心地装置一个转子。靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁坚持接触，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙）转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时。转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成abc三部分。与吸气口相通的空间a容积是逐渐增大的正处于吸气过程。而与排气口相通的空间c容积是逐渐缩小的正处于排气过程。居中的空间b容积也是逐渐减小的正处于压缩过程。由于空间a容积是逐渐增大（即膨胀）气体压强降低，当转子按箭头方向旋转时。泵的入口处外部气体压强大于空间a内的压强，因此将气体吸入。当空间a与吸气口隔绝时，即转至空间b位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，zui后与排气口相通。当被压缩气体逾越排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级）由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。
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