氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法
灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、*限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。
①灵敏度及其校准
氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的*小可检漏率。记为ql.min，即在仪器处于*佳工作条件下，正压氦气质谱检漏仪多少钱，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的*小漏孔漏率。所谓“*佳工作条件”是指仪器参数调整到*佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“*小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，正压氦气质谱检漏仪多少钱，一般指在2min内输出仪表的波动量。
如果检漏时用辅助系统抽气（即对示漏氦气有分流）。或用累积法检漏时，给出仪器*小可检氦浓度（即浓度灵敏度）。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。
浓度灵敏度校准系统中应用量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率ql.o，则仪器浓度灵敏度。
②反应时间、清除时间及其测定
反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零（或补偿到零）时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的（1-e-1）倍（即o.63）所需要的时间，记为τr。
清除时间是指输出仪表讯号稳定到值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍（即o.37）所需要的时间，记为τc。
③工作真空、*限真空及入口处抽速
质谱室*限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的*限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率快，氦气质谱检漏仪多少钱，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴*电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
氦质谱检漏仪的优点介绍
灵敏度高，还具有适应范围广、定位定量准确、*、安全、反应速度快等优点。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比（m/e）的离子在磁场中都有相应的运输半径，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉，而在对应的氦离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收*，这样的只有氦离子才能通过狭缝而被接收*接收形成氦离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，正压氦气质谱检漏仪多少钱，如果用氦气喷吹漏孔，氦气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。
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