臭氧安全浓度根据清华大学编的《臭氧技术应用文集》一书，将有关臭氧应用浓度按安全浓度空气、应用浓度、水中应用浓度、环境浓度及感知浓度，分类摘录，以便在应用中查找。
安全浓度人们允许接触的臭氧浓度不大于0.2mg/m3。
◎臭氧工业卫生标准：
臭氧协会：0.1ppm，接触10小时
美国：0.1ppm，接触8小时
德、法、日：0.1ppm
中国：0.16mg/m3
空气应用浓度
◎作为空气除味与杀菌，要求臭氧浓度较低，如0.5ppm（1mg/m3），而物品表面消毒（杀灭微生物和去除化学污染）则要求提高几十倍的臭氧浓度。
◎空气应用具氧浓度在1mg/m3～10mg/m3之间。
◎温度低，湿度大则杀灭效果好，尤其是湿度，相对湿度小于45%，臭氧对空气中悬浮微生物几乎没有杀灭作用。在60%时才逐渐增强，在95%时达到大值。
◎用臭氧消毒食品加工车间，0.5～1.0ppm即可杀灭空气中的80%的自然菌。
◎冷库消毒要求臭氧浓度6～10ppm，停机后封库24小时以上细菌杀灭率90%左右，霉菌杀灭率80%左右。
◎在水果贮藏期间，可用2～3ppm的臭氧可使霉菌的生长受到抑制，贮藏期可延长一倍。
水中应用浓度
◎水应用中臭氧溶解度在0.1mg/l～10mg/l之间。低值作为水消毒净化要求的低浓度，高值作为“臭氧水消毒剂”可达到的浓度值。
◎自来水臭氧净化，常规标准为0.4mg/l的溶解度值，保持4分钟，即ct值为1.6。
◎水中余臭氧浓度保持在0.1～0.5mg/l作用5～10min可达消毒目的。
◎臭氧水消毒灭菌是急速的，消毒作用在瞬间发生。清水中臭氧浓度一旦达到，在0.5～1分钟内就杀死细菌，在浓度达4mg/l，在1分钟内乙肝病毒灭活率为。
◎herbold报道：20℃条件下，水中臭氧浓度达0.43mg/l时，可将大肠杆菌杀灭，10℃时仅需0.36mg/l即可全部杀灭。
◎臭氧浓度为0.25～38mg/l时，仅需几秒或几分钟*灭活甲型肝炎病毒（hav）。
◎矿泉水中臭氧溶解度在0.4～0.5mg/l时，即可满足杀菌保质要求。合理的臭氧投放量为1.5～2.0mg/l。
◎瓶装水处理应达0.3～0.5mg/l的臭氧溶解度值，要求投加臭氧应满足1m3水2go3的发生量。根据实践经验，臭氧发生浓度高于8mg/l时容易达到浓度。
◎家用*外臭氧泄漏量不得超过0.2mg/m3（指1.5米以外），消毒一个周期后残留浓度不得大于0.2mg/m3。
◎动物试验表明，臭氧毒性的起点浓度为0.3ppm，而人对空气中臭氧可嗅知的浓度为0.02～0.04ppm，根据臭氧对肺功能毒性的试验结果，提出1.5～2.0ppm为臭氧允许浓度的上限。卫生部规定臭氧高允许浓度为0.2mg/m3。
运用标准
空间、器具、容具消毒、保鲜、除臭净化空气中使用臭氧参考浓度（1ppm=2.14mg/m3）
用途
种类
浓度ppm
每m每小时臭氧量mg/h
使用方法
消毒
医用器具
20
50-100
20ppm消毒时间60min(gbyy0215.2-95)
冷库
6-10
15-25
根据库容和污染程度连续开机，主要杀灭霉菌
?
食品车间
1.0-1.5
2.5-3.5
每天班后开机送o3气体
?
病房、手术室
2.5-5
5.5-15
需要消毒时开机，按标准检查细菌总数
?
工作服消毒
10-20
25-50
相对湿度90%左右，衣服用衣架挂起
?
防毒保鲜
一般场所
1-2
2.5-5
定期开机
鸡蛋
2-2.5
5-5.5
间断供给o3气体，每天开机2－3次
?
香蕉
2.5-3.5
5.5-8
?
?
苹果
2.0
5
?
?
叶绿素少的蔬菜
1.5-1
3.5-2.5
?
?
鱼、干酪
0.5-1
1.5-2.5
?
?
除臭净化
停尸房
3
7
有臭味即开机除臭
鱼类加工厂
3
7
污染气体进入处理管道，在管道内投入o3气体氧化除臭。如车间内异味严重，应在车间进风口投加o3气体，以嗅不到o3气体为宜。
?
屠宰车间
2-3
5-7
?
?
脂肪酸类工厂
10
25
?
?
橡胶厂
3-10
7-25
?
?
垃圾废物处理
10
25
?
?
污水处理厂
1-2
2.5-5
?
?
摘自：化学工业出版社，2003.3《臭氧技术及应用》
1.我国卫生部1979年制定的《工业卫生标准》中规定，臭氧的安全标准为0.15ppm。
2.美国标准规定，人员可在0.1ppm浓度下工作8小时。（一般森林地区臭氧浓度即可达到0.1ppm）
3.臭氧协会规定，应用臭氧的专业室内，在0.1ppm浓度下，允许工作10小时。
4.引起人员一定反应的浓度为0.5-1ppm，允许接触的时间是1.5小时，时间长了会感到口干等不适。
5.浓度在1-4ppm会引起人员咳嗽，允许接触时间为1小时。
6.浓度在4-10ppm会引起强烈咳嗽，允许接触时间为20分钟。
7.臭氧的半衰期为20-50分钟，且终的分解物为氧气，所以对食品不会有残留污染。
8.实践证明，应用臭氧消毒防霉多年，没有发现设备、装置材料受损的情况。
目前在世界范围内，纯净水、天然水（山泉水、矿泉水、地下水等经过过滤等工序制成），已普遍采用臭氧消毒。在自来水臭氧净化应用时，常规标准为0.4mg/l的溶解度保持4分钟，即ct值为1.6。下表为参考值。
别指标类
分质供水
纯净水
天然水
自来水
游泳池水
水中臭氧浓度
0.1-0.3mg/l
0.2-0.4mg/l
0.4-0.6mg/l
0.4mg/l
0.2mg/l
臭氧添加量
1-2g/t
2-3g/t
3-5g/t
3-5g/t
1-2g/t