影响三坐标测量仪的测量不确定度有两个方面：测量机的影响和非测量机的影响：
测量机的影响包括：
1、坐标系（静态）—— 位置偏差、垂直度偏差、直线度偏差、角摆偏差
2、动态特性 —— 与测量机的结构、组件的配置有关，与移动速度、接触力、加速度有关，并包括过渡过程的时间效应、动态变形性能
3、探测系统 —— 测头的各向导性、零点、运动速度的响应，测头系统的特征曲线，测杆的刚性、球的形状以及运动部件的综合作用
4、控制系统 —— 包括控制的精度等
5、软件 —— 包括软件的算法、求值方法、所有补偿程序等
6、附加装置 —— 圆转台等
非测量机的影响包括：
1、、环境条件：温度、振动等
2、工作方式和操作特性：工件的固定方式、表面状况、硬度、接触力及测量方法等
3、测量任务的定义：技术图纸
4、测量工件：表面特性、形状、硬度、伸缩性，及有关引力和测力压力的塑性变形等