利用不聚合ar,n2,h2,o2等，plasma进行表面反应，并参与表面反应的激发态分子、羟基自由基、电子阴阳离子、等离子体产生的紫外线辐射。通过plasma表面反应，外表可能会引入特定的官能团，导致外表腐蚀，生成聚酰亚胺结构层或外表羟基自由基。其次，薄膜沉积在外表，主要采用聚合有机单体聚合法在材料外表覆盖聚合膜。pcvd法和塑料外表的金属化处理等溅射膜也可以采用。plasma对聚合物外表的功能有很多理论解释，如外表分子链降解理论、氧化理论、氢键理论、聚酰亚胺理论、臭氧化理论和外表介电理论，但聚合物表面反应机理可以概括为三个步骤:
(1)自由电子在高压电场中被加速并获得更高的动能，并与其他分子发生碰撞。撞击分子获得部分能量，并被激活而具有活力；
(2)激发态的分子是不稳定的，并分解成羟基自由基或电离阴阳离子；
(3)羟基自由基或阴阳离子在脂溶性外表效果时，生成钙化的聚酰亚胺层；plasma与存在的气体或单体发生聚合，使聚合物外表沉积成具有可设计的涂层；plasma与外表羟基自由基或阴阳离子发生反应，生成改性层。等离子体对材料外表的影响大致有四种:去除外表杂质；外表腐蚀；外表聚酰亚胺生成具有新化学结构的外表。有助于提高粘结性碳纤维外表含有极性功能团的氧气，plasma处理后改变碳纤维的吸湿度，提高吸附能力。修饰薄膜外表，改善薄膜表面粗糙度和外表性能，plasma处理后各性能。