thermocera基板加热的加热器介绍
用于pvd(气相沉积/溅射)和cvd等真空薄膜实验的“超高温基板加热加热器”具有优异的均匀性,温升特性和可控性,并且易于操作。
bh加热器:用于大学研究机构。 采用康塔尔和c/c复合材料。 外壳和防护罩作为标准设计,以实现较短的交货时间和低廉的价格。
vh加热器:采用sic3,tic3涂层,pg / pbn扩大了应用范围。 与bh一样,零件和材料是标准化的,以实现较短的交货时间和低廉的价格。
ht加热器:为超高温区域定制的加热器。 此外,即使在恶劣的条件下,也可以实现稳定均匀的加热。 我们每次都会根据您的要求进行设计。
sh加热器:由于气密结构,材料和沉积物不会渗透到内部,并且可以长时间进行稳定的加热。 推荐用于 cvd 实验。
bh基板加热加热器pvd、退火、高温样品台等φ1英寸、φ2英寸、φ4英寸
康塔尔(最高 800°c)
c/c 复合材料 (最高1600°c)
钽(最高1200°c)
vh基板加热加热器pvd,高压/特高压,惰性/反应气体φ2英寸,至φ6英寸
碳化硅涂层(最高 3°c)
tic3涂层(最高1600°c)
pg/pbn(最高1200°c)
ht基板加热加热器定制加热器,用于超高温φ1英寸至φ6英寸
c/c 复合材料 (最高1700°c)
碳化硅涂层(最高 3°c)
tic3涂层(最高1900°c)
sh基板加热加热器cvd,高压/特高压,惰性和反应性气体φ1英寸至φ6英寸
镍铬线铬镍铁合金板(最高 850°c)
钨丝 bn 板/钼盖 (最高1100°c)
hs 热舞台pvd,高压/超高压,惰性/反应气体φ2英寸至φ8英寸
有关加热器部件,请参阅 vh、ht
昆士兰灯加热加热器卤素灯加热器单元
φ4英寸或φ6英寸
pvd 灯加热单元
优异的升温特性和均匀性。
关键词:加热器
