xd302系列为开环式二维θx、θy运动的压电偏转镜，是专为高动态应用而设计，空载谐振频率高达15khz，且体积小巧，适于空间受限的应用。
特点
二维偏转运动
体积紧凑
开环，高分辨率
适于高动态应用
应用
xd302系列小体积压电偏转镜适于激光加工快速扫描、激光光路稳定等各种光路调节等。
两种型号
xd302系列二维压电偏转镜，具有xd302-d1与xd302-d2两种型号，两种型号的位移分别为3mrad、1.5mrad，两个版本的空载谐振频率都高达15khz。并且，它们的体积非常紧凑，外径仅15.6mm，高分别为30mm、21mm。
xd302-d1压电偏转镜
xd302-d1技术参数
型号：xd302-d1
运动方向：θx、θy
标称行程范围（0~120v）：3或±1.5mrad
开环分辨率：0.03μrad
空载谐振频率：15 khz
带载谐振频率（φ12.5×3mm镜片）：10 khz
静电容量：1.6μf/轴
材料：钛合金、钢
质量：30g
驱动控制：三路驱动（含1路恒压）
外径/高：15.6/30mm
xd302-d2压电偏转镜
xd302-d2技术参数
型号：xd302-d2
标称行程范围（0~120v）：1.5或±0.75mrad
开环分辨率：0.02μrad
空载谐振频率：15 khz
带载谐振频率（φ12.5×3mm镜片)：10 khz
静电容量：0.7μf/轴
材料：钛合金、钢
质量：20g
驱动控制：三路驱动（含1路恒压）
外径/高：15.6/21mm
偏转角度与驱动电压曲线