法兰连接是feedthrough在真空系统中一种常见的连接方式，它通常用于将真空室和其他设备或部件连接起来，以实现气体或信号的传输。这种连接方式主要用于高真空或超高真空的环境中，要求连接部位具有较高的真空密封性能和可靠性。
真空馈通法兰连接通常由两个相互贴合的法兰组成，法兰上通常有一些定位孔和螺钉孔，用于连接法兰和其他设备或部件。连接时，将两个法兰对齐并通过螺钉进行紧固，同时在两个法兰之间加入密封圈或密封垫片，以保证连接部位的真空密封性。
真空馈通法兰连接有多种类型，包括kf法兰、iso法兰、cf法兰等，每种类型的法兰连接具有不同的标准和尺寸。选择不同类型的法兰连接需要根据具体应用的需求和环境来确定。
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