pld450型脉冲激光镀膜介绍
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技术指标:
*限真空度:≤6.7×10 pa
恢复真空时间:从1×10 pa抽至5×10 pa≤20min
系统漏率:6. 7×10-7pa.l/s;
真空室:ф450球型真空室 ,
基片尺寸:可放置4″可实现公转换靶位描等基片加热可连续回转,转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离300-350mm可调。
二维扫描机械平台,执行两自由度扫描,控制的内容主要有公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温、激光束扫,脉冲激光沉积设备厂家,
质量流量控制器1路
烘烤温度:150℃数显自动热偶控温(高温炉盘,数显自动热偶控温可加热到800℃)
脉冲激光沉积系统的特点有哪些?
? 超高真空不锈钢腔体
? 可集成热蒸发源或溅射源
? 可旋转的耐氧化基片加热台
? 流量计或针阀准确控制气体流量
? 标准真空计? 干泵与分子泵
? 可选配不锈钢快速进样室
? 可选配基片-靶材距离自动控制系统
? 是金属氧化物、氮化物、碳化物、金属纳米薄膜、多层膜、超晶格的较佳设备
以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多脉冲激光沉积的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。
脉冲激光沉积发展前景
由脉冲激光沉积技术的原理、特点可知,它是一种*具发展潜力的薄膜制备技术。随着辅助设备和工艺的进一步优化,脉冲激光沉积设备多少钱,将在半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备方面发挥重要的作用;并能加快薄膜生长机理的研究和提高薄膜的应用水平,脉冲激光沉积设备价格,加速材料科学和凝聚态物理学的研究进程。同时也为新型薄膜的制备提供了一种行之有效的方法。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年脉冲激光沉积行业经验,专注脉冲激光沉积研发定制与生产,*的脉冲激光沉积生产设备和技术,建立了严格的产品生产体系,想要更多的了解,欢迎咨询图片上的热线电话!!!
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