广州金程科学仪器公司供应的雅马拓yamato等离子清洗机v1000/v1000x/v1000xs，13.56mhz高频输出的等离子清洗机，搭载rie·dp 双模式。硅晶圆的灰化及蚀刻、基板表面污垢处理、ic/led封装、bga/csp基板处理、半导体相关部品的电子材料的干式清洗、自然氧化膜·有机物去除、界面活性处理、表面污染物去除。
等离子清洗机特点：
硅晶圆的灰化及蚀刻。
基板表面污垢处理。
ic/led封装、bga/csp基板处理。
半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有机物去除。
界面活性处理。
表面污染物去除。
等离子清洗机技术参数：
型号
v1000
v1000x
v1000xs
等离子模式
dp/rie
高频电源
13.56mhz
输出功率
max1000w
max1000&1500w
有效电极尺寸
w280xd280mm
w300xd300mm
w400xd375mm
电极
平行平板
2段电极（独立）
平板（多目的）
反应气体
聚合控制器2系统（填充气路另行安装）
真空泵（标配）
约1000l/min
约1500l/min
1000&1500l/min
安全装置
门检测开关、连锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等
雅马拓yamato等离子清洗机v1000/v1000x/v1000xs信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子清洗机的信息，欢迎来电咨询。