应用领域
专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀，可耐受高压、高背压。可耐受供液管线的高压、高背压、大流量的0.7mpa规格。
产品特点
1.扩大使用压力范围
通过采用新密封结构，扩大使用压力范围。a、b口的使用压力实现通用化。
2.酸碱适用
执行器采用耐化学药品性优异的氟树脂“pvdf”，标准型应用非常广泛，酸碱同样适用。
3.扩大流体温度范围
大幅扩大标准品的使用流体温度范围（max. 120℃）。可选择带传感器的类型，通过信号确认阀的开闭情况。