常见的三种真空法兰规格(cf、kf、iso)
1、cf 法兰的英文名是 conflateflange。它是一种用于超高真空中的法兰连接，是一种金属静密封，可以承受高温烘烤。
2、kf 是应用在真空系统中的一种快速安装拆卸的连接方式，通常是橡胶圈密封。他由以下几个元件构成：两个成对称分布的 kf 法兰、o-ring、定心支架、卡箍。勿需使用别的工具，只要简单地用手拧动碟形螺母就可以松开或压紧联接。
3、iso 法兰和配管可用于从大气压到高真空，经常装拆的各种应用中。一般管子的直径超过 50mm（2 英寸）。如果使用氟橡胶 o 形圈，可以承受 150℃烘烤。iso 系列的密封圈相对于 kf 系列的真空密封圈除了有中心支架和氟橡胶材质的密封圈外，还多了一个铝制的弹簧外圈，其主要作用是防止密封圈滑脱。他由以下几个元件构成：两个成对称分布的 iso 焊接法兰片、定心支架+ o-ring+铝制外圈、双卡箍(坚固件)。
cf,kf,nw,iso 区别
cf 系列：cf 法兰比较容易区分，主要是用在超高真空系统上的密封连接，其主要密封方式是金属密封即铜垫片密封。需要注意的是铜垫片在使用一次后密封效果会很差，如果对真空度要求较高的系统，法兰每拆卸一次，就需要更换垫片。这类法兰有标准规格，如 cf35， 其中铜垫片也有标准件买。
kf 系列：kf 是日常真空系统中比较常见的密封连接方式，主要应用在高真空系统中。其主要密封方式是橡胶圈密封。规格从 kf10-kf50，通常情况下，kf 连接的管道尺寸是相对于英寸规格来说的。即 kf25 对应的管道是 25.4*1.65mm，依此类推(有的要求特殊管道，法兰的焊接尺寸可以定制)。kf 最大的到 kf50（配管是 50.8*1.65mm)之后的真空连接就是 iso系列。kf系列最为常见，一般的真空配件公司都有。
iso 系列：iso 也是用于高真空系统中的配件，最小规格是 iso63（配管是 63.5*1.65mm）
再往后面是 iso80、iso100、iso160 直至 iso320 甚至更大规格，连接方式是双卡头连接, 主要是两个 iso 的法兰片，中间加密封圈，然后用四个双卡头卡住法兰片进行连接。要注意的是通常情况下 iso 系列的密封圈相对于 kf 系列的真空密封圈除了有中心支架和氟橡胶材质的密封圈外，还多了一个铝制的弹簧外圈，其主要作用是防止密封圈滑脱。因为 iso 系列的管路尺寸相对较大，密封圈套在中心支架上面受到机台的震动或者温度的影响，如果没有固定的话会滑脱，影响密封。
nw 系列:nw 同样是用在高真空系统中的真空配件，是日本的规范，所以 nw 的真空配件在日企或者日本设备里面用到的相对来说多一些。前面我们说过，iso 系列的是两片iso的法兰片和四个双卡钩进行连接，而 nw 的链接方式是两片 nw 的法兰在一起，用链式卡箍进行连接（n63 的法兰外观上就是大一号的 nw50 的法兰）。基本上 nw50 以下的尺寸是可以与 kf 通用的。
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作者：深圳市科锐诗汀科技有限公司真空技术中心
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