等离子清洗机利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的活性组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。 等离子清洗机表面处理机应用包括处理、灰化、改性、蚀刻等过程。选择等离子清洗设备，不仅能除去光刻胶和其他有机物，而且能激活晶圆表面，提高晶圆表面的润湿性。聚合物、包括形状不一的槽孔和狭长的孔洞内的微粒，使用等离子清洗机可以轻而易举清洗掉
在聚合物清洗上，等离子清洗机发挥着极其重要的作用：
1、聚合物的表面重组等离子清洗机的消融作用中使用的惰性气体破坏了聚合物表面的化学键从而导致聚合物表面自由官能团的形成。聚合物表面的自由官能团重新成键形成原始的聚合物结构，也能与在相同的聚合物链上邻近的自由官能团成键，或与在不同的聚合物链上附近的自由官能团成链。聚合物表面结构重组能够改进表面的硬度和化学抗性；2、等离子清洗机对聚合物表面清洁：等离子清洗机通过高能电子和离子轰击材料表面，从而机械地除去污物层。可以除去某些加工聚合物中可能存在的污垢层、不需要的聚合物表面涂层和薄弱的边界层。
3、聚合物的表面改性
等离子清洗机的消融作用破坏了聚合物表面的化学键，从而导致聚合物表面自由官能团的形成。基于等离子过程气体的化学性质，这些表面自由官能团与等离子中原子或化学基的连接形成了新的聚合物功能组，代替旧的表面聚合物功能组。等离子清洗机聚合物表面改性能够改变材料表面的化学性质，而材料整体性质不会改变；4、等离子清洗机对聚合物的表面镀膜等离子镀膜是通过过程气体的聚合作用在材料基层表面形成一层薄的等离子涂层。如果被使用的生产气体由复合分子组成，那么他们在等离子态将破裂，形成自由的官能单体，这些官能单体将在聚合物表面成键和重新化合在聚合物表面镀膜。等离子清洗机的聚合物表面涂层能明显地改变表面的渗透性和磨擦性。
等离子清洗机处理方法是剥离式清洗，优势在于清洗后无废液，特点是对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料等原基材料都能很好地处理，可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。
低温等离子清洗机用于物体表面清洁、蚀刻、表面活化改性等多种场合，通过等离子清洗机的处理，可使新能源材料获得润湿性、增强粘结力、粘结力等，同时去除有机污染物，确保连接张力达到规范要求，例如可以提高构件与底板间的粘接强度，通常需要在粘合点用等离子体清洗机的处理。
关键词：等离子清洗机 清洗设备 新能源