x射线荧光光谱仪于1969年由美国海军实验室成功研制，发展到现在已经成为大多数实验室以及工业部分不可或企业的分析仪器设备。x射线荧光光谱仪主要用于物质成分分析，具有谱线简单干扰少、分析灵敏度高、操作简单、再现性好等特点，因此在各种科研和工业领域得到了广泛的应用。
基本原理：
x射线荧光光谱分析是利用初级x射线光子或其它微观粒子激发待测物质中的原子，使之产生荧光(次级x射线)而进行物质成分分析和化学态研究的。
首先，原级x射线经过x射线管发射出来，经过滤光片照射到样品上，是样品产生荧光，荧光与原级x射在样品上的散射线一起通过光阑、吸收器、初级准直器等装置，以平行光束照射到需要分析的晶体上。分析晶体时，入射x射线按布喇格定律发生衍射，通过次级准直器，进入探查仪器后进行信号的光电转换，电压信号再经过仪表放大器和脉冲幅度分析器用于数据测量和后期处理。
应用：
1.物质成分分析，在冶金、地质、化工、机械、石油、建筑材料等工业部门，农业和医药卫生，以及物理、化学、生物、地学、环境、天文及考古等研究部门都得到了广泛的应用。
2.测定薄膜的厚度和组成，如冶金镀层或金属薄片的厚度，金属腐蚀、感光材料、磁性录音带薄膜厚度和组成等。
3.动态分析，测定某一体系在物理化学作用过程中组成的变化情况，如相变产生的金属问的扩散，固体从溶液中沉淀的速度，固体在同体中的扩散和同体在溶液中溶解的速度等。
4.筛选电子电气设备中的限制使用物质铅、汞、铬、镉和溴。