应变片按敏感元件材料的不同可分为金属和半导体两大类,从敏感元件的形态又可进一步细分为如表所示。金属电阻应变片中丝式、箔式、薄膜式zui为常见,丝式应变片是zui早使用的,性能较之优越的箔式敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成,便于批量生产,薄膜型应变片是采用真空离子束溅射技术或真空沉积技术,在薄绝缘基片上蒸镀金黄色属电阻薄膜,再加上保护层制成,具有更高的灵敏度和更宽的工作温度。
表 应变片分类
金属
半导体
体型
薄膜型
体型
薄膜型
扩散型
外延型
pn结等
丝式
箔式
纸基
胶基
