tomei giken激光干涉仪介绍分析
tomei giken制造和销售自己的超小型（akion）干涉仪。 我们提供各种入射孔径的fizeau型激光干涉仪，例如4英寸（φ100毫米），6英寸（φ150毫米）和1.5英寸（φ38毫米）。使用参考透镜，可以测量和评估抛光表面，例如玻璃平面、晶圆、反射镜和具有小到大孔径的透镜球，精度为 λ/20。
ak-100zf 激光干涉仪机身：4英寸（φ100）
超紧凑型 4“ fizeau 型激光干涉仪。具有 6 倍变焦机构的高品质机器
测量校准 4英寸（100毫米） 外部尺寸 宽340x长190x高260毫米
光源 氦氖激光 （633nm） 质量 约 14 公斤
放大 1倍~6倍（手动变焦） 传感器 标准：640 × 480 像素
参考透镜（参考球面）精度 λ/20 权力 交流100v 50/60hz 1a
传感器可根据要求更改为3m像素。
ak-100zf/球形系统：4英寸（φ100）
超紧凑的 4“ fizeau 激光干涉仪系统。具有 6 倍变焦机制的高品质机器。干涉仪垂直型是基本型，但我们也可以制造干涉仪垂直型或干涉仪水平型。
测量校准 4英寸（100毫米） 测量行程 标准：约600mm（特殊订单：约800mm）
光源 氦氖激光 （633nm） 样品安装台 φ120毫米
放大
1倍~6倍（手动变焦）
样品制备 5轴载物台（α，β倾斜，x，y，z移位）
参考透镜（参考球面）精度 λ/20 安装体积（包括隔振台） 宽1000x长900x高2000mm
隔振台可改为台式主动隔振台（*） 测量行程长度不包括镜头安装夹具的高度（*） 安装体积不包括pc 机架。
ak-100zf/牛顿格子系统：4“ （φ100）
超紧凑型 4“ fizeau 型激光干涉仪。具有 6 倍变焦机制的高品质机器。作为牛顿检查器，增强了支架的刚性和稳定性，并将干涉仪主体放置在底部。
測定口径 4inch (100mm) 測定ストローク 標準：約600mm
（特注：約800mm）
光源 he-neレーザー(633nm) サンプル設置台 φ120mm
倍率 1倍 ～ 6倍
（手動ズーム）
サンプル調整 3軸ステージ
（x,y,z-shift）
基準レンズ（参照球面） 精度 λ/20 設置容積 w400xd400xh1200mm
（※）測定ストローク長はレンズ設置治具高さ分を含んでおりません
ak-150zf 激光干涉仪机身：6英寸（φ150）超紧凑型 6“ fizeau 型激光干涉仪。具有 6 倍变焦机构的高品质机器
测量校准 6英寸（150毫米） 外部尺寸 宽758x长316x高316mm
光源 氦氖激光 （633nm） 质量 约 42 公斤
放大 1倍~6倍（手动变焦） 传感器 标准：640 × 480 像素
参考平面（参考平面）精度 λ/20 权力 交流100v 50/60hz 1a
如果您需要高密度传感器，请联系我们。
ak-150zf/平面系统：6英寸（φ150）
超紧凑型 6“ fizeau 型激光干涉仪。具有 6 倍变焦机制的高品质机器。平板玻璃、反射镜、晶圆等的平面精度测量系统它可以提供垂直类型（左图）或x-box类型（右图：90°折叠）。
测量校准 6英寸（150毫米） 参考平面（参考平面）精度 λ/20
光源 氦氖激光 （633nm） 样品制备 2轴载物台（α，β倾斜）
放大 1倍~6倍（手动变焦） 安装体积（包括隔振台） 宽1500x长800x高1800mm
* 安装区域适用于立式系统，不包括 pc 机架。
ak-40zf 激光干涉仪机身：1.5 英寸 （φ38）
超紧凑型 1.5“ fizeau 型激光干涉仪。具有 6 倍变焦机构的高品质机器
测量校准 1.5英寸（38毫米） 外部尺寸 宽121x长127x高248毫米
光源 氦氖激光 质量 约4.5公斤
放大 1倍~6倍（手动变焦） 传感器 标准：640 × 480 像素
参考透镜（参考球面） 表面精度 λ/10 权力 交流100v 50/60hz 1a
ak-40zf/球形系统：1.5英寸（φ38）
超紧凑型 1.5“ 菲索激光干涉仪。具有 6 倍变焦机构的高质量机器可提供垂直_downward（左）或vertical_upward（右）。
测量校准 1.5英寸（38毫米） 测量行程 标准：约300mm（特殊订单：约600mm）
光源 氦氖激光 （633nm） 样品安装台 60x60毫米
放大 1倍~6倍（手动变焦）
样品制备 5轴载物台（α，β倾斜，x，y，z移位）
参考透镜（参考球面） 表面精度 λ/10 安装体积（不包括隔振台） 宽250x长250x高800mm