特征用于抽查
sf6气体露点控制
气体变压器/气体断路器
气体绝缘开关设备
半导体和液晶面板的干法蚀刻工艺
sf6气体回收及再利用
主要用途变压器/气体断路器的 sf6 纯度和露点测量
观点环保测量仪器sf6(六氟化硫)气体是《京都议定书》中规定削减目标的温室气体,据说单位体积的温室效应约为二氧化碳的23,400倍。sf6 气体在断路器、变压器、半导体工艺等中用作绝缘气体,水分含量和 sf6 纯度的测量对于保持绝缘程度至关重要。另一方面,迄今为止,日本的普遍做法是在测量过程中将其释放到大气中,或者在不释放的情况下付费收集和分解。通过使用mbw973-sf6,测量的sf6气体可以返回到原始设备而不释放到大气中,从而可以消除大气排放。
精密测量到目前为止,电容式由于其易于获得而被广泛使用。另一方面,mbw973-sf6采用高精度镜面法进行露点和纯度测量,可实现±0.5°c和0.5%的高精度测量,响应速度快,随时间的推移劣化很小。通过使用该设备,可以大大减少操作员的工作时间并轻松执行可靠的测量。
so2测量选项sf6气体通过与水分反应来净化hf气体和so2气体。mbw973-sf6可以测量0-100ppm或0-500ppm范围内的so2 。该传感器采用电化学电池,测量精度为满量程的±2%。