真空泵工作压强范围属于低真空泵,可以单独使用,也可作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。
旋片泵是真空技术中zui基本的真空/获得设备之一。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。但不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油以及含有颗粒尘埃的气体会起化学反应。
旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。
旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成a、b、c三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间a 的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程。而与排气口相通的空间c的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程。居中的空间b的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。
由于空间a的容积是逐渐增大,气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间a内的压强,因此将气体吸入。当空间a与吸气口隔绝时,即转至空间b的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,zui后与排气口相通。
当被压缩气体超过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转,达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。