按荧光强度的测定方式，xrf仪可分为波长色散和能量色散两种方式两类仪器。在波长色散光谱仪中，样品发射出的各种波长的荧光x射线，在达到探测器之前，已由分光晶体按其波长大小在空间散开。因此，原则上说，探测器每次只接收一种波长。在0.02~1.5nm波段内，单晶是一种zui有效的色散器，配合单道脉冲高度分析器，可以成功地消除衍射的干扰。对波长大于1.5nm的超软x射线，则往往采用面间距d较大的金属有机化和物晶体或人造多层薄膜晶体作为波长色散的晶体。
在能量色散光谱仪中，探测器同时接收样品中所有元素发散出的荧光x射线，然后输出，经放大，送到脉冲高度选择器。脉高选择器按各个波长的脉高分布的平均脉冲高度加以分离，也就是按入射x射线光能量把他们分开。适当地设置基线和窗口，可以单独地测量每种能量分析线的脉冲分布，或适当地设置探测器电压和放大器增益，也可以把单个分析线的脉冲高度移到一个固定的窗宽之内。多道脉冲高度分析器可同时显示所有脉冲高度。
按探测器的多少，波长色散型xrf仪又可分为单道扫描和多道xrf仪。单道扫描xrf仪为顺序式测量，一般采用平晶衍射型分光系统。
多元素分析仪（多道x射线荧光光谱仪）一般采用弯晶聚焦型分光系统。它的特点是固定道以弯晶和狭缝组合成的，以大立体角接收试样产生的荧光x射线强度。在多道x射线光谱仪中，测角器是小型化的，目前zui多已安装30个元素的通道，而且根据被分析元素可分别配备*化的光学系统，是zui适宜的探测器。为了扩大分析范围，可在多道光谱仪上安装1~2个扫描式测角器。