真空等离子处理，真空等离子清洗机 spv-150 技术规格,等离子清洗机的结构主要分为五大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。
（实际外观以出厂的为准）
（1）产品简述
（1.1）等离子清洗的作用
等离子清洗的作用原理主要是：
（a）对材料表面的刻蚀作用--物理作用
等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但
清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细
坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
（b）激活键能，交联作用
等离子体中的粒子能量在 0~20ev，而聚合物中大部分的键能在 0~10ev，因此等离子体作
用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键
形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
（c）形成新的官能团--化学作用
如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的
官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。
（1.2）产品原理
等离子清洗机的结构主要分为五大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气
体系统、以及真空泵系统。
（a）控制系统：
控制系统：触摸屏+plc
（b）激励电源系统：
电源：13.56mhz的射频激励电源，
（c）真空腔体：
铝合金腔体，
（d）工艺气体系统：
工艺气体：氩氢混合气
（e）真空泵：油泵主要采用双级旋片油泵
（2.1）技术参数
美国 ceres 射频电源，13.56mhz
电源系统
功率 0~600w 可调；
美国 ceres 全自动真空电容匹配器
德国天津莱宝，trivac 60t
真空系统
真空计：日本英福康皮拉尼真空计
真空管路：全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管
铝合金真空腔体，*级焊接密封，25mm厚度
腔体系统
腔体内部尺寸：450×450×500mm（宽×高×深）
电极板布置方式：*竖电极板，可活动抽取
空间层数：3竖隔
气压阀，日本 smc
气体系统
流量计，浮子流量计，0~300sccm
一路工艺气体：氩氢混合气体
plc，德国西门子s 系列
控制系统
触摸屏，威纶通，七寸屏幕
电气部件：德国施耐德品牌
外形尺寸：约890×1745×1000mm（宽×高×深）
其它参数
重量：400kg
颜色：银灰色
（2.2）尺寸参数
（2.3）配置清单
配置清单
名称
描述说明
单位
数量
真空腔体
铝合金真空腔体，尺寸：450×450×500mm（宽×高×深）
个
1
射频电源
美国 ceres 射频电源，13.56mhz
台
1
功率 0~600w 可调
电源匹配器
美国 ceres 全自动真空电容匹配器
台
1
plc
德国西门子，s7-200
个
1
触摸屏
威纶通，mt6071ie
个
1
流量计
氩氢混合气
个
1
真空泵组
德国天津莱宝，trivac 60t
套
1
真空计
日本皮拉尼，psg
个
1
真空电磁阀
日本 smc，vqd
个
1
说明书
真空等离子清洗机 spv-100 操作说明书
份
1
（3）安装、调试、保养
（3.1）.装卸要求：需提供插车；
（3.2）安装环境要求：
a.三相 380v 的，五线（三根火线、一根零线、一根地线）供电电源，功率 5000w,4 平方线；
b.气体，氩氢混合气；
c.无水无油的压缩空气。
（3.3）安装及调试过程需协助；如提供测试样品及测试要求等。
（3.4）调试期限：1 天
（3.5）效果验证：采用接触角测试，对处理后的样品进行量化评估，确保效果
和均匀性及稳定性。
（3.6）保养：
a.为了更好的延续设备的使用寿命，我们的真空设备需要定期保养,保养周
期：3 个月。
b.保养明细：
真空等离子设备保养表
项目
是
否
1
检查抽空时间是否超标
√
2
检查密封圈是否有裂痕
√
3
检查视窗玻璃螺丝是否需紧固
√
4
检查电极板插针是否需更换
√
5
检查设备放电是否正常
√
6
检查腔门感应开关接触是否良好
√
7
更换过滤器滤芯
√
8
更换真空泵油
√
9
检查真空泵密封
√
10
检查回油装置是否正常
√
11
清理泵体油污
√
（4）耗材清单
序号
易损件名称
单位
备注
数量
1
更换泵油
l
5
3 个月更换一次
2
更换滤芯
个
1
3
工业气体
瓶
1
一般使用一路气体