德国leybold莱宝真空泵sv65b特征及用途
主要特点有:
1、*的排除水蒸气的能力。
2、出口油雾过滤器为标准配置,真空泵油循环使用,无油烟,清洁、环保、省油。
3、可以在进口压力为大气压的情况下连续工作。
4、在低压强下仍能保持高的抽速。
5、内置自动防返油阀。
6、sv630以下为风冷,不需要水冷,经济方便。
7、低噪音,低振动。
8、结构紧凑,体型小,节省空间。
9、可以与各种附件配套使用,因而可以满足各种不同应用的需要。
德国leybold莱宝真空泵sv65b特征及用途
低温冷凝泵是目前所有的真空泵中抽速大、工作压强范围宽、极限真空度高(气氦制冷机低温冷凝泵可以达到10-10pa,液氦型低温冷凝泵可以达到10-13pa)的真空泵,而且可以抽除所有气体,能获得全无油清洁真空。由于具有这些突出的优点,气氦制冷机低温冷凝泵在需要大抽速、超高清洁真空的半导体、新型显示器件及其他高科技研究和产业中获得了et益广泛的应用。低温冷凝泵的缺点是价格很高,运行中需要再生而不能*连续抽气。
扩散泵系统是比较常用的高真空系统,一般可以获得10-1~10-5pa的工作真空,使用特别设计的扩散泵及采用性能良好的扩散泵油,再在泵的人口端使用挡油板和液氮冷阱,加以充分的烘烤除气措施,可以获得10-7pa的极限真空。扩散泵系统的特点是对各种气体都能抽除,适宜长时间连续工作,扩散泵没有噪声,价格比较低。缺点是开启或停止系统工作很耗时,工作效率低,油污染严重。
用机械泵作为前级泵的涡轮分子泵系统,是目前常用的高真空系统,有取代扩散泵系统的趋势。分子泵系统可以获得10-1~10-6pa的工作真空,可达到lo-8pa的极限压强。分子泵系统的优点:对各种气体的抽速差别不大,起动快、油污染很轻,称之为半无油系统;能耗较低,容易做到自动控制。缺点:价格较高,颗粒物落人泵内容易损坏。适用于要求油污染少且连续排除中等流量气体的场合。
德国leybold莱宝真空泵sv65b特征及用途
建立全无油的超高真空系统,可以采用溅射离子泵和低温吸附泵组成的系统。这种系统可以获得10-3~10-9pa的清洁真空,主要残余气体是h2。但这种配置由于吸附泵的排气量有限,起动不方便,不适用于抽除气体量大和频繁起动的场合。如果用机械泵串联挡油吸附阱代替吸附泵,可以克服吸附泵排气量小的缺点,但代价是丧失了全无油的优点。溅射离子泵系统的缺点是对惰性气体的抽速很小,不适用于抽除以惰性气体为主的负载气体,另外其价格也较高。
钛升华泵的特点是极限真空度高,可以达到10-9pa,文章由广州泽德水泵整理对活性气体的抽速很大,但对惰性气体的抽速为零,因此它不适用于作为经常要排除空气的真空系统的主泵,而适于在扩散泵、分子泵、溅射离子泵系统中作为提高极限真空度的辅助泵使用。