超高分辨率显微镜中的纳米定位系统
芯明天p15系列xyz压电纳米定位台是用于超分辨率显微镜应用的多轴定位台，通过闭环控制，可以实现亚纳米级的高精度运动，在xyz平面上的行程范围可达300微米。
p15内部采用有限元分析（fea）优化的线切割挠曲铰链结构。fea使其设计具有尽可能高的刚度，并使线性和角度跳动小化。闭环版本采用高精度的传感反馈，与e70系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。台体中心66×66mm大通孔，非常适合显微成像、微操作等应用。
特点
•xyz三维运动
•行程范围：300μm/轴
•无摩擦、高精度挠性导向系统
•扫描平整度高
•通孔尺寸：66×66mm
•闭环阶跃时间：60ms
•闭环分辨率：13nm
•承载能力：0.5kg
带载阶跃时间
闭环上升曲线，满行程阶跃时间60ms。
闭环压电控制器
e70.d3s压电控制器采用运放电路保证了高压大电流的输出能力，通过优化传感伺服模块从而提高了pi调节与控制的精准度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。
技术参数
功能：数字与模拟集成式控制器
通道数：3
模拟输入：0~10v
输出电压：0~120/150v
平均电流：70ma
带宽：10khz
传感器类型：sgs
伺服特性：p.i+低通+陷波
通信接口：rs-232/422、usb
工作温度：0~50℃
尺 寸：168.5×134×45.5mm
重 量：1.2kg
供电电压：24v dc1.5a(36w)