n62系列压电扫描台为xy轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为26mm，可以实现xy轴±10μm的位移行程，产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装。
高动态、高分辨率、高定位精度
n62系列压电扫描台为小体积高精度平移扫描台，是特别为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计的xy轴扫描台，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现xy轴±10μm的位移行程，分辨率可以达到0.5nm，满行程重复定位精度达纳米级。
产品采用不锈钢材质，特殊的结构设计使其具有非常大的刚度，空载谐振频率达2000hz，满足工业上对高频率高精度等应用的需求。
动态性能好
n62.xy20k带载10g负载在500hz频率下位移曲线。
技术参数
型号：n62
运动自由度：x、y
行程范围@120v：±8μm/轴
行程范围@150v：±10μm/轴
闭环传感器：sgs
通孔尺寸：ø26 mm
闭/ 开环分辨率：1/0.5 nm
闭环线性度：0.3%f.s
闭环重复定位精度：0.1%f.s
运动方向刚度：x2.2/y2.2 n/μm
空载谐振频率：x2000/y2000 hz
闭/ 开环空载阶跃时间：1.5/0.7 ms
大承载：1kg
静电容量：1.6μf/轴
材质：钢、铝
重量：180g
配套压电控制器
e70.d3s是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的3通道压电陶瓷控制器。该控制器采用运放电路保证了高压大电流的输出能力，通过优化传感伺服模块从而提高了pi调节与控制的精准度与稳定性，可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。
采用dc24v 供电、集成数字与模拟控制功能、rs-232/rs-422/usb 通讯可选、集成式pzt&sensor 迷你接口便于连接，外部可设定控制功能，操作简单便捷。
技术参数
型号：e70.d3s-i2
功能：数字与模拟集成式控制器
通道数：3
模拟输入范围：0-10v
输出电压范围：0-120v/150v第三路恒压
峰值电流：1.1a/通道
平均电流：70ma/通道
放大器带宽：10khz/通道
输出电压纹波：5mv（2.2μf）
pzt连接器：ecg.1b.314（lemo）
控制输入连接器：smb
传感器类型：sgs
伺服特性：p.i+ 低通+ 陷波
传感输出纹波：10mv
通信接口：rs-232/422、usb
工作温度范围：0-50℃
尺 寸：168.5×134×45.5mm
重 量：1.2kg
供电电压：24v dc1.5a(36w)
控制方式：模拟/ 数字信号控制