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洁净隧道(Clean Tunnel)：

洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域99%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ulsi制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。
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